管道防堵装置

授权

摘要

本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种管道防堵装置。所述管道防堵装置包括：转接管道，用于连通相互垂直的第一管道和第二管道，所述第一管道和所述第二管道均用于传输废气；位于转接管道内部的疏通结构，所述疏通结构包括至少一立于所述转接管道内的支架；位于所述转接管道外部的控制器，所述控制器与所述疏通结构连接，用于驱动所述支架沿所述第一管道或所述第二管道的轴向方向进行往复运动，以避免所述废气中的颗粒物在所述转接管道内沉积。本实用新型避免了转接管道内部出现颗粒物堆积，降低了用于排出废气的管路系统发生堵塞的概率，有效避免了产品报废和设备损坏情况的发生。

基本信息

专利标题：

管道防堵装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920426731.0

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-03-29

授权号：

CN210165078U

授权日：

2020-03-20

发明人：

周扬薛强刘世振陈伏宏刘家桦

申请人：

德淮半导体有限公司

申请人地址：

江苏省淮安市淮阴区长江东路599号

代理机构：

上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

孙佳胤

优先权：

CN201920426731.0

主分类号：

F16L55/24

IPC分类号：

F16L55/24