ECR离子源感应炉
授权
摘要
本实用新型涉及一种ECR离子源感应炉，包括：感应坩埚，感应坩埚呈两端开口的圆筒状且为卧式放置；内屏蔽筒，套设在感应坩埚外部，用于对感应坩埚进行保温；外屏蔽单元，套设在内屏蔽筒外部且与内屏蔽筒之间存在环形夹层；感应线圈，缠绕在内屏蔽筒外周且与内屏蔽筒之间为滑动配合，用于产生交变磁场以对感应坩埚进行加热；紧固单元，设置在感应坩埚、内屏蔽筒和外屏蔽单元的两端，以将感应坩埚、内屏蔽筒和外屏蔽单元连接在一起并将三者的内部空间封闭，同时在紧固单元上开设有连通感应坩埚内腔和ECR等离子体的蒸气出口。本实用新型可以将充足的难熔金属蒸气馈入到ECR等离子体中，进而产生相应的强流高电荷态难熔金属离子束。
基本信息
专利标题 ：
ECR离子源感应炉
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920445433.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-04-03
授权号 ：
CN209893934U
授权日 ：
2020-01-03
发明人 ：
卢旺钱程孙良亭李立彬黄维
申请人 ：
中国科学院近代物理研究所
申请人地址 ：
甘肃省兰州市南昌路509号
代理机构 ：
北京纪凯知识产权代理有限公司
代理人 ：
谢斌
优先权 ：
CN201920445433.6
主分类号 ：
F27B14/06
IPC分类号 ：
F27B14/06 F27B14/08 F27B14/14
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F27
炉；窑；烘烤炉；蒸馏炉
F27B
一般馏炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉；开式烧结设备或类似设备
F27B
一般馏炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉；开式烧结设备或类似设备
F27B14/00
坩埚炉或罐式炉；浴炉
F27B14/06
带有或不带有其他热源的电加热的，例如感应坩埚炉
法律状态
2020-01-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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