ECR离子源感应炉
授权
摘要
本实用新型涉及一种ECR离子源感应炉,包括:感应坩埚,感应坩埚呈两端开口的圆筒状且为卧式放置;内屏蔽筒,套设在感应坩埚外部,用于对感应坩埚进行保温;外屏蔽单元,套设在内屏蔽筒外部且与内屏蔽筒之间存在环形夹层;感应线圈,缠绕在内屏蔽筒外周且与内屏蔽筒之间为滑动配合,用于产生交变磁场以对感应坩埚进行加热;紧固单元,设置在感应坩埚、内屏蔽筒和外屏蔽单元的两端,以将感应坩埚、内屏蔽筒和外屏蔽单元连接在一起并将三者的内部空间封闭,同时在紧固单元上开设有连通感应坩埚内腔和ECR等离子体的蒸气出口。本实用新型可以将充足的难熔金属蒸气馈入到ECR等离子体中,进而产生相应的强流高电荷态难熔金属离子束。
基本信息
专利标题 :
ECR离子源感应炉
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920445433.6
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-04-03
授权号 :
CN209893934U
授权日 :
2020-01-03
发明人 :
卢旺钱程孙良亭李立彬黄维
申请人 :
中国科学院近代物理研究所
申请人地址 :
甘肃省兰州市南昌路509号
代理机构 :
北京纪凯知识产权代理有限公司
代理人 :
谢斌
优先权 :
CN201920445433.6
主分类号 :
F27B14/06
IPC分类号 :
F27B14/06 F27B14/08 F27B14/14
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F27
炉;窑;烘烤炉;蒸馏炉
F27B
一般馏炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉;开式烧结设备或类似设备
F27B
一般馏炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉;开式烧结设备或类似设备
F27B14/00
坩埚炉或罐式炉;浴炉
F27B14/06
带有或不带有其他热源的电加热的,例如感应坩埚炉
法律状态
2020-01-03 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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