实时读取位移转动信息的三自由度纳米定位平台
授权
摘要
实时读取位移转动信息的三自由度纳米定位平台，三自由度纳米定位平台包括上传动平板和下静平板，上动平板和下静平板之间有三个传动组件，三个传动组件呈120°均匀地分布在通过三个传动组件的圆周上，压电陶瓷驱动器的顶部连接下球形顶头，下球形顶头的半球形顶头嵌入上圆弧凹槽传动平板的圆弧形凹槽内；上圆弧凹槽传动平板安装在上动平板的圆槽内，弹簧平行于压电陶瓷驱动器呈120°均匀地分布在上动平板和下静平板的弹簧支架上。还包括实时读取微动倾斜平台位移角度信息的测量装置，激光器的输出激光以45度角对准反射装置的反射面垂直透射进劈尖干涉装置，劈尖干涉装置连接被测物体，待测物体放置在三自由度纳米定位平台上面。
基本信息
专利标题 ：
实时读取位移转动信息的三自由度纳米定位平台
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920448327.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-04-03
授权号 ：
CN210108265U
授权日 ：
2020-02-21
发明人 ：
杨钢王肖隆冀聪王子轩王晶陈春霖吴彬程冰童建平林强
申请人 ：
浙江工业大学
申请人地址 ：
浙江省杭州市下城区潮王路18号
代理机构 ：
杭州天正专利事务所有限公司
代理人 ：
王兵
优先权 ：
CN201920448327.3
主分类号 ：
G01B11/02
IPC分类号 ：
G01B11/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/02
用于计量长度、宽度或厚度
法律状态
2020-02-21 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
