一种具有离线真空度保持功能的载板

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摘要

本实用新型涉及太阳能电池板生产辅助工具，尤其涉及一种具有离线真空度保持功能的载板，属于工业自动化领域。本实用新型所述的一种具有离线真空度保持功能的载板，包括载板本体，在载板本体内设置有真空腔，在载板本体上设置有真空发生装置，该真空发生装置用于使真空腔形成真空，从而通过吸附孔吸附载板本体上的物料。该方案中真空发生装置设置于载板本体上，使得载板本体具有离线真空保持的功能，即，载板本体可以在各工序之间流转，并且，在各工序之间流转时仍可以保持真空吸附功能，相对于现有技术，该方案可以有效地保证载板本体在各工序流转时的吸附能力，从而提高了太阳能电池板的组装精度，并且，组装太阳能电池板的设备易于维护。

基本信息

专利标题：

一种具有离线真空度保持功能的载板

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920448390.7

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-04-03

授权号：

CN209641622U

授权日：

2019-11-15

发明人：

叶欣汪辉高振波洪昀金光前张鑫陈雷雷何守龙

申请人：

杭州中为光电技术有限公司

申请人地址：

浙江省杭州市钱江经济开发区龙船坞路96号

代理机构：

浙江英普律师事务所

代理人：

陈小良

优先权：

CN201920448390.7

主分类号：

H01L21/66

IPC分类号：

H01L21/66 H01L21/67 H01L21/673 H01L21/683