一种355nm紫外远心f-theta镜头
授权
摘要
本实用新型公开了一种355nm紫外远心f‑theta镜头，包括沿入射光线传输方向依次设置的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜和第六透镜；第一透镜为弯月形负透镜，第二透镜为弯月型正透镜，第三透镜为平凸正透镜，第四透镜为弯月型正透镜，第五透镜为双凸正透镜，第六透镜为双平面保护窗口片。本实用新型通过特定结构光学系统的设置，使得远心F‑theta镜头的场曲、及像散降低非常显著；进一步，借助自由曲面的较高的设计自由度和灵活的空间布局，以及透镜组光焦度的合理分配，像散小于0.04mm，场曲控制在0.02mm内；远心度小于1°；适用于对平场及像散要求较高的紫外激光微精细加工或者紫外激光钻孔等对平场要求苛刻的领域。
基本信息
专利标题 ：
一种355nm紫外远心f-theta镜头
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920449055.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-04-04
授权号 ：
CN210038305U
授权日 ：
2020-02-07
发明人 ：
梁思远王国力吴玉堂朱敏刘建芬刘旭东
申请人 ：
南京波长光电科技股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省南京市江宁区湖熟工业集中区波光路18号
代理机构 ：
南京中律知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
李建芳
优先权 ：
CN201920449055.9
主分类号 ：
G02B13/00
IPC分类号 ：
G02B13/00 G02B13/22 G02B27/00 G02B1/00 G02B13/14
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B13/00
为下述用途专门设计的光学物镜
法律状态
2020-02-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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