气体传输装置
授权
摘要
该实用新型涉及一种气体传输装置，包括：止逆阀板，设置于所述气体传输装置底部，包括止逆阀，所述止逆阀设置在所述气体传输装置底部，用于防止外界气体从所述气体传输装置底部进入所述气体传输装置。上述气体传输装置通过设置在所述气体传输装置底部的止逆阀板来防止外界环境中的颗粒进入到所述气体传输装置内部，可以降低所述气体传输装置内部的晶圆被颗粒沾染的可能性，减少晶圆表面出现颗粒杂质，防止晶圆发生颗粒缺陷，提高晶圆的加工良率。
基本信息
专利标题 ：
气体传输装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920458475.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-04-04
授权号 ：
CN209981173U
授权日 ：
2020-01-21
发明人 ：
周舟周亚勇陈伏宏刘家桦叶日铨
申请人 ：
德淮半导体有限公司
申请人地址 ：
江苏省淮安市淮阴区长江东路599号
代理机构 ：
上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
孙佳胤
优先权 ：
CN201920458475.3
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2020-01-21 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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