一种捕集器及装有捕集器的排气系统
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摘要
本实用新型涉及干法蚀刻设备领域，公开了一种捕集器及装有捕集器的排气系统。装有捕集器的排气系统包括依次连接的分子泵、捕集器、真空配管、干泵、洗涤塔；捕集器包括筒体、第一盖板、第二盖板、进气配管和出气配管；第一盖板和第二盖板封闭筒体内腔以形成密闭的捕集室；筒体的筒壁中设有包裹捕集室的冷腔；进气配管出气端穿过第一盖板伸入到捕集室内，出气配管进气端穿过第二盖板伸入到捕集室内，进气配管出气端的端口平面过出气配管进气端的端口平面，以使从进气配管流入的排气、在捕集室内呈Z字型流动、进而再从出气配管流出。通过上述方式，本实用新型能够有效的避免干泵出现卡死或转子磨损的情况，延长干泵使用寿命，降低干泵维护成本。
基本信息
专利标题 ：
一种捕集器及装有捕集器的排气系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920462577.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-04-08
授权号 ：
CN209752528U
授权日 ：
2019-12-10
发明人 ：
王福平
申请人 ：
爱发科真空技术（苏州）有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市苏州工业园区苏虹东路277号
代理机构 ：
北京同恒源知识产权代理有限公司
代理人 ：
刘宪池
优先权 ：
CN201920462577.2
主分类号 ：
B01D53/00
IPC分类号 ：
B01D53/00 B01D49/00
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D53/00
气体或蒸气的分离；从气体中回收挥发性溶剂的蒸气；废气例如发动机废气、烟气、烟雾、烟道气或气溶胶的化学或生物净化
法律状态
2019-12-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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