一种传送过渡单元
授权
摘要
本实用新型提供了一种传送过渡单元，可用于光阻涂布机中。当机械手臂将晶圆送到传送过渡单元时，如果第一检测机构没有检测到晶圆，那么就有可能发生掉片或者晶圆破损。此时光阻涂布机中的信号处理器件会接收到来自第一检测机构的异常信号，并给出预警信号，技术人员就可以及时检查设备并发现问题。除此之外，还可以在支撑杆上设置第二检测机构用于检测晶圆的位置。利用本实用新型提出的结构可以降低晶圆重工以及报废甚至污染其它晶圆的概率，还可减少不必要的怠机，从而提高产品的良率，提高设备的正常运行时间。另外，本实用新型提出的结构可以应用在光阻涂布机中的多种传送过渡单元中，如TRS单元、TCP单元、SHU单元、或BUF单元。
基本信息
专利标题 ：
一种传送过渡单元
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920481510.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-04-11
授权号 ：
CN210015843U
授权日 ：
2020-02-04
发明人 ：
张海陆颜廷彪
申请人 ：
德淮半导体有限公司
申请人地址 ：
江苏省淮安市淮阴区长江东路599号
代理机构 ：
上海思捷知识产权代理有限公司
代理人 ：
王宏婧
优先权 ：
CN201920481510.3
主分类号 ：
H01L21/677
IPC分类号 ：
H01L21/677 H01L21/67
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的，例如在不同的工作站之间
法律状态
2020-02-04 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN210015843U.PDF
PDF下载
