研磨液流量闭环控制系统
授权
摘要

本实用新型涉及一种研磨液流量闭环控制系统,属于流量控制技术领域。本实用新型包括电动机、打液泵和供液管道,打液泵与电动机电连接,打液泵一端连接研磨液存储罐,另一端与蓝宝石加工平台的供液管道相连,打液泵与供液管道内流经研磨液;该系统还包括流量计、开关电源和变频器,流量计安装于供液管道上,流量计与开关电源电连接进行供电;变频器设置有PID控制电路;PID控制电路设置有端子Ⅰ、端子Ⅱ,其中端子Ⅰ与流量计的输出端相连,端子Ⅱ与上位机的输出端相连;由变频器、电动机、打液泵和流量计构成闭环控制系统。本实用新型可以实现泵节能运行及流量自动调节的功能;以达到降低成本,提高效率,提高产品稳定性的目的。

基本信息
专利标题 :
研磨液流量闭环控制系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920491632.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-04-12
授权号 :
CN209590647U
授权日 :
2019-11-05
发明人 :
郑东李长生
申请人 :
青岛鑫嘉星电子科技股份有限公司
申请人地址 :
山东省青岛市城阳区高新区河东路383号
代理机构 :
青岛发思特专利商标代理有限公司
代理人 :
巩同海
优先权 :
CN201920491632.0
主分类号 :
G05D7/06
IPC分类号 :
G05D7/06  
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G05
控制;调节
G05D
非电变量的控制或调节系统
G05D7/00
流量控制
G05D7/06
以使用电装置为特征的
法律状态
2019-11-05 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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