双频压电式微机械超声换能器
专利权的终止
摘要

本实用新型公开了双频压电式微机械超声换能器。目前还没有基于单个振动膜片的双频压电式微机械超声换能器。本实用新型由上至下依次包括金属上电极层、压电薄膜层、金属下电极层、硅器件层、埋氧层、硅衬底层。埋氧层和硅衬底层内开有微腔。压电薄膜层包括位于同一平面的方形外框和设置在外框内的圆形片。金属上电极层包括位于同一平面互不接触的两个圆环形上电极;金属下电极层包括位于同一平面互不接触的两个圆环形下电极。外环上、下电极,以及内环上、下电极的圆环形金属片形状和尺寸相同,位置对应。本实用新型能够在单个振动膜片上同时发出两种不同中心频率的宽带超声,工艺简单,有利于波束形成,适用于双频带片上超声系统。

基本信息
专利标题 :
双频压电式微机械超声换能器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920504375.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-04-15
授权号 :
CN210816106U
授权日 :
2020-06-23
发明人 :
吴丽翔
申请人 :
杭州电子科技大学
申请人地址 :
浙江省杭州市下沙高教园区2号大街
代理机构 :
杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
朱月芬
优先权 :
CN201920504375.X
主分类号 :
B06B1/06
IPC分类号 :
B06B1/06  H01L41/047  H01L41/29  B81B7/02  B81C1/00  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B06
一般机械振动的发生或传递
B06B
一般的机械振动的发生或传递(其特殊物理或机械方法见有关小类,如B07B1/40,B22C19/06,B23Q17/12,B24B31/06,E01C19/22;机械振动的测量,包括发生与测量的结合入G01H;利用声波反射或再辐射的系统入G01S15/00;勘探用地震能的产生入G01V1/02;机械振动的控制入G05D19/00;声音发送、传导或定向的一般方法或装置入G10K11/00;声波的合成入G10K15/02;压电器件、电致伸缩器件或磁致伸缩器件入H01L41/00;有振动磁体、电枢或线圈的电动机入
B06B1/00
产生亚声频、声频或超声频的机械振动的过程或设备
B06B1/02
利用电能
B06B1/06
用压电效应或用电致伸缩工作的
法律状态
2022-04-08 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : B06B 1/06
申请日 : 20190415
授权公告日 : 20200623
终止日期 : 20210415
2020-06-23 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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