一种磁控溅射真空镀膜设备传动辊道手动盘车装置
授权
摘要
本实用新型公开一种磁控溅射真空镀膜设备传动辊道手动盘车装置，包括传动轴以及带有轴套的法兰盘，法兰盘通过轴套套设于传动轴外周；传动轴的一端设有键槽、且能够与传动辊道的耦合器装配连接，传动轴的另一端设有把手；所述法兰盘盘面设有法兰孔，通过法兰孔使法兰盘与真空镀膜设备腔体侧部的传动接口相连；旋转把手，使传动轴带动耦合器旋转，从而串联起传动辊道，使传动辊道跟着旋转，达到手动盘车的目的；通过盘车装置来测试玻璃是否能通过玻璃通道或者是否有干涉，能够高效地进行调试及准确的查找问题点；盘车可有效的验证装配质量，检验传动系统是否有干涉等问题。
基本信息
专利标题 ：
一种磁控溅射真空镀膜设备传动辊道手动盘车装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920505082.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-04-15
授权号 ：
CN209873087U
授权日 ：
2019-12-31
发明人 ：
胡本成李险峰施佳慧刘宇张钟宇王会玲付成杰
申请人 ：
中建材光电装备（太仓）有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市太仓市太仓港港口开发区长江大道189号
代理机构 ：
安徽省蚌埠博源专利商标事务所
代理人 ：
陈俊
优先权 ：
CN201920505082.3
主分类号 ：
C23C14/35
IPC分类号 ：
C23C14/35 C23C14/56
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
C23C14/35
利用磁场的，例如磁控溅射
法律状态
2019-12-31 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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