本实用新型涉及高准确度流量标准装置，特别涉及一种高端基准级的单缸活塞式气体流量标准装置，解决了现有气体流量标准装置不具有保持准确度长期稳定性和适应高准确度要求的结构形式，且不具备对工作气体介质工况参数的实时高准确度的检测能力的技术问题。一种高端基准级的单缸活塞式气体流量标准装置，包括驱动及其相关机构、底座和缸体，缸体为无法兰的圆柱形构件，且设置在驱动及其相关机构与底座之间，驱动及其相关机构包括互相连接的伺服电机、减速器、齿形同步轮带、滚珠螺母丝杠副、缸体上盖和活塞，滚珠螺母丝杠副的回转螺母安装在缸体上盖中心，滚珠螺母丝杠副下端通过设置在活塞下方的活塞法兰紧固连接，缸体上盖设有球栅测量系统。