一种用于芯片的全自动清洗装置
授权
摘要
本实用新型涉及一种用于芯片的全自动清洗装置，属于芯片清洗设备技术领域，包括铝合金支架、控制箱、电源装置，所述支架上设有清洗腔，所述清洗腔内设有工作台、旋转装置、锁扣装置、第一摆臂装置和第二摆臂装置，在物料到达工作台被锁紧后，通过第一摆臂装置的药液喷淋浸泡以及自动刷洗，第二摆臂装置的自动清洗以及干燥，同时，针对不同程度的沾污可以设置不同的清洗液以及清洗的时间，能够进一步提升清洗效果，并且全程采用全自动操作，同时设置多个清洗腔进行工作，有效提高了工作效率，降低了用工成本。
基本信息
专利标题 ：
一种用于芯片的全自动清洗装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920524660.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-04-18
授权号 ：
CN209561348U
授权日 ：
2019-10-29
发明人 ：
王孝军范亚飞
申请人 ：
上海允哲机电科技有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区鹿吉路353号1幢101室
代理机构 ：
上海领洋专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
罗晓鹏
优先权 ：
CN201920524660.8
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67 H01L21/02
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2019-10-29 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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