晶圆精确定位夹紧装置
授权
摘要
本实用新型旨在提供一种高兼容性、定位精准、能有效减少设备投入和提高测试稳定性的晶圆精确定位夹紧装置。本实用新型包括载板、推送模组及两个夹紧模组，所述载板开设有与晶圆相适配的空槽及与所述夹紧模组相配合设置的凹槽，所述推送模组安装在所述载板上，两个所述夹紧模组均安装在所述凹槽上。本实用新型应用于晶圆固定设备的技术领域。
基本信息
专利标题 ：
晶圆精确定位夹紧装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920526322.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-04-18
授权号 ：
CN209868385U
授权日 ：
2019-12-31
发明人 ：
梁祖荣
申请人 ：
珠海市运泰利自动化设备有限公司
申请人地址 ：
广东省珠海市斗门区新青科技工业园内B型厂房
代理机构 ：
广州市红荔专利代理有限公司
代理人 ：
王贤义
优先权 ：
CN201920526322.8
主分类号 ：
B25B11/00
IPC分类号 ：
B25B11/00
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B25
手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手
B25B
不包含在其他类目中的用于紧固、连接、拆卸或夹持的工具或台式设备
B25B11/00
不包含在B25B1/00至B25B9/00各组中的工件夹持装置或定位装置，例如，磁性工件夹持装置、真空夹持装置
法律状态
2019-12-31 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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