一种多工位夹具与配套的清洗托架
授权
摘要
本实用新型公开一种多工位夹具与配套的清洗托架,其包括:上掩膜板、定位片、下掩膜板、骨架、下护板、磁铁片和锁紧件,上掩膜板、定位片、下掩膜板、骨架和下护板分别设置有位置相对的通孔,通孔包括固定孔、用于卡住晶片上的晶片罩孔、安装磁铁片的磁铁孔和用于卡住磁铁片的磁铁罩孔,上掩膜板、定位片、下掩膜板、骨架和下护板重叠形成五层层叠的结构,五层结构利用锁紧件进行锁紧;该托架采用多工位方形夹具清洗晶片,对比之前使用的单片装的三角形夹具,同时清洗数量得到极大的提升,清洗效率同比提高50.6%,实现了清洗数量和效率的大幅度提升。
基本信息
专利标题 :
一种多工位夹具与配套的清洗托架
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920535874.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-04-18
授权号 :
CN209773005U
授权日 :
2019-12-13
发明人 :
刘青彦黄建友杨清明唐浚淇
申请人 :
成都晶宝时频技术股份有限公司
申请人地址 :
四川省成都市高新技术产业开发区西部园区百叶路8号
代理机构 :
成都虹盛汇泉专利代理有限公司
代理人 :
王伟
优先权 :
CN201920535874.5
主分类号 :
B08B13/00
IPC分类号 :
B08B13/00 B08B11/02
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B13/00
一般用于清洁机器或设备的附件或零件
法律状态
2019-12-13 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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