一种用于碳化硅炉炉腔压力控制的控压装置
授权
摘要
本实用新型涉及一种压力装置，尤其涉及一种用于碳化硅炉炉腔压力控制的控压装置。包括碳化硅炉腔体，碳化硅炉腔体设有腔体进气口与腔体出气口；腔体出气口与主真空管路一端相连；主真空管路另一端与真空泵相连；主真空管路上设有真空阀与旁路支路；旁路支路为若干并联的控压支路，各个控压支路上均设有真空阀；控压支路直径小于主真空管路，且各个控压支路的直径各不相等。本实用新型由于该装置存在几路不同大小的管径，使得通气量具有可调性，因此可根据实际的使用经验改进管径大小及数量，因此配合真空泵变频使得腔体内部压力在惰性气体的充入和抽吸过程中容易达到平衡。
基本信息
专利标题 ：
一种用于碳化硅炉炉腔压力控制的控压装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920537661.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-04-19
授权号 ：
CN210089430U
授权日 ：
2020-02-18
发明人 ：
胡建荣高宇倪军夫董熔成石明智陈吉傅林坚曹建伟李欢
申请人 ：
浙江晶盛机电股份有限公司
申请人地址 ：
浙江省绍兴市上虞区通江西路218号
代理机构 ：
杭州中成专利事务所有限公司
代理人 ：
周世骏
优先权 ：
CN201920537661.6
主分类号 ：
F27D19/00
IPC分类号 ：
F27D19/00 F27D7/06
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F27
炉；窑；烘烤炉；蒸馏炉
F27D
一种以上的炉通用的炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉的零部件或附件
F27D
一种以上的炉通用的炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉的零部件或附件
F27D19/00
控制装置的配置
法律状态
2020-02-18 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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