一种基于谐振器振幅比检测的双轴流体敏感装置
专利权的终止
摘要
本实用新型公开一种基于谐振器振幅比检测的双轴流体敏感装置，平面外立体毛发粘合在中层硅微传感器的几何中心，中层微硅传感器的结构由一个质量块基座、四个相同的弱耦合谐振器组和四个相同的平面外运动抑制弹性结构组成；其中四个相同的弱耦合谐振器组对称分布在质量块基座的上、下、左、右四个方向；弱耦合谐振器组通过二级力放大杠杆的输入直梁与质量块基座相连；四个相同的平面外运动抑制弹性结构对称分布在质量块基座的左上、右上、右下、左下四个方向，平面外运动抑制弹性结构通过平面外运动抑制弹性U形梁与质量块基座相连。本实用新型通过将弱耦合谐振器组和平面外运动抑制弹性结构组呈对称结构布置，实现平面内流速的双轴敏感。
基本信息
专利标题 ：
一种基于谐振器振幅比检测的双轴流体敏感装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920549684.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-04-22
授权号 ：
CN211718326U
授权日 ：
2020-10-20
发明人 ：
杨波郭鑫张婷梁卓玥
申请人 ：
东南大学
申请人地址 ：
江苏省南京市江宁区东南大学路2号
代理机构 ：
南京苏高专利商标事务所(普通合伙)
代理人 ：
吴静波
优先权 ：
CN201920549684.9
主分类号 ：
G01P5/08
IPC分类号 ：
G01P5/08 B81B7/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01P
线速度或角速度、加速度、减速度或冲击的测量；运动的存在或不存在的指示；运动的方向的指示、传播时间或传播方向来测量固体物体的方向或速度入G01S；核辐射速度的测量入G01T）
G01P5/00
测量流体的速度，例如空气流；测量物体相对于流体的速度，例如船、航行器的速度
G01P5/08
通过测量受流量直接影响的电变量的变化，例如应用机—电效应的
法律状态
2022-04-08 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : G01P 5/08
申请日 : 20190422
授权公告日 : 20201020
终止日期 : 20210422
申请日 : 20190422
授权公告日 : 20201020
终止日期 : 20210422
2020-10-20 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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