一种利用液氮对洁净室用水进行冷量置换的装置
授权
摘要
本实用新型涉及一种利用液氮对洁净室用水进行冷量置换的装置，包括液氮输送管线、水浴式汽化器、气液分离器、板式换热器、冷冻水循环管线、工艺冷却水循环管线和中温水循环管线，液氮输送管线与水浴式汽化器的液氮入口相连，水浴式汽化器的液氮出口与气液分离器的入口相连，气液分离器的液氮出口与水浴式汽化器的液氮入口相连，水浴式汽化器内装有40％纯水与60％乙二醇混合溶液，水浴式汽化器的混合溶液循环管线与板式换热器的一个介质流体通道相连，板式换热器的另外三个介质流体通道分别与冷冻水循环管线、工艺冷却水循环管线和中温水循环管线相连。本实用新型大大增加了冷量置换的效率，有效地实现了洁净室的温湿度控制。
基本信息
专利标题 ：
一种利用液氮对洁净室用水进行冷量置换的装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920560678.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-04-23
授权号 ：
CN209840481U
授权日 ：
2019-12-24
发明人 ：
李双曲迪李淼付艳涛邹伟伟常淑荣索建康
申请人 ：
天津华慧芯科技集团有限公司
申请人地址 ：
天津市滨海新区生态城中天大道1620号生态科技园启发大厦12层101
代理机构 ：
天津市鼎和专利商标代理有限公司
代理人 ：
蒙建军
优先权 ：
CN201920560678.3
主分类号 ：
F25D3/10
IPC分类号 ：
F25D3/10 F25D29/00
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F25
制冷或冷却；加热和制冷的联合系统；热泵系统；冰的制造或储存；气体的液化或固化
F25D
冷柜；冷藏室；冰箱；其他小类不包含的冷却或冷冻装置
F25D
冷柜；冷藏室；冰箱；其他小类不包含的冷却或冷冻装置
F25D3/00
应用其他冷却材料的设备；应用蓄冷物体的设备
F25D3/10
应用液化气体，例如液态空气
法律状态
2019-12-24 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
