一步法生产超净高纯微电子级过氧化氢的生产设备

授权

摘要

本实用新型涉及一种一步法生产超净高纯微电子级过氧化氢的生产设备，包括原料储罐、动力输送泵、混合树脂塔提纯净化系统、膜分离系统和成品接收储罐，通过管道依次连接，管道上设有控制阀。其中，原料储罐和动力输送泵相连，再与混合树脂塔提纯净化系统相连、膜分离系统与成品接收储罐相连。本实用新型抛去了吸附、阴、阳、和混合的繁琐的生产设备，简单实用又能提高生产量。

基本信息

专利标题：

一步法生产超净高纯微电子级过氧化氢的生产设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920566140.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-04-24

授权号：

CN209974301U

授权日：

2020-01-21

发明人：

陈增瑞张平均张玓瓅

申请人：

广州市天夫美新材料科技有限公司

申请人地址：

广东省广州市花都区赤坭镇黄沙塘大村刘巷8号

代理机构：

北京众合诚成知识产权代理有限公司

代理人：

邹仕娟

优先权：

CN201920566140.3

主分类号：

C01B15/013

IPC分类号：

C01B15/013