一种改善涂布机台的杯槽机构寿命的装置
授权
摘要
本实用新型提供一种改善涂布机台的杯槽机构寿命的装置，包括环套，环套为中空结构，环套的内侧面上设置有多道斜檐，斜檐与水平面之间设置有夹角，斜檐与斜檐之间的环套内侧壁上设置有槽孔，槽孔与中空结构相导通设置。在涂布机台的杯槽内嵌套一个环套，使得在对晶圆进行旋转涂布时，被离心力甩开的液态光阻则会掉落于环套上，并通过环套上的斜檐对液态的光阻进行引流，使得液态的光阻通过槽孔进入环套的中空结构内，达到将光阻进行清理的目的。
基本信息
专利标题 ：
一种改善涂布机台的杯槽机构寿命的装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920589832.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-04-26
授权号 ：
CN210045504U
授权日 ：
2020-02-11
发明人 ：
黄光伟李立中林伟铭马跃辉吴靖庄永淳
申请人 ：
福建省福联集成电路有限公司
申请人地址 ：
福建省莆田市涵江区江口镇赤港涵新路3688号
代理机构 ：
福州市景弘专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
徐剑兵
优先权 ：
CN201920589832.X
主分类号 ：
B05C11/10
IPC分类号 ：
B05C11/10
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B05
一般喷射或雾化；对表面涂覆流体的一般方法
B05C
一般对表面涂布流体的装置
B05C11/00
在B05C1/00至B05C9/00中没有专门列入的部件、零件及附件
B05C11/10
液体或其他流体的存贮、供给或控制，过量液体或其他流体的回收
法律状态
2020-02-11 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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