为了解决现有技术中晶圆浸泡时间长的技术问题，本实用新型提供了包括拉杆组件和驱动机构的用于晶圆浸泡槽中的晃动机构。拉杆组件包括夹持件、连接件、外管件和内拉杆件，外管件套装在内拉杆件的外部，夹持件与外管件固连，连接件与内拉杆件铰接，夹持件和连接件均与晶舟或者提篮铰接；驱动机构包括第一伺服滚珠丝杆副组件和第二伺服滚珠丝杆副组件，第一伺服滚珠丝杆副组件带动晶圆离开或者没入化学品中，第一伺服滚珠丝杆副组件通过提高或者降低内拉杆件的高度从而调整晶圆的倾斜的角度，第一伺服滚珠丝杆副组件不停反复运动实现了晶圆在浸泡槽内的反复晃动，被搅动的化学品不停冲击晶圆表面，加速了晶圆表面杂质的剥离速度。