用于晶圆浸泡槽中的晃动机构
专利权的终止
摘要
为了解决现有技术中晶圆浸泡时间长的技术问题,本实用新型提供了包括拉杆组件和驱动机构的用于晶圆浸泡槽中的晃动机构。拉杆组件包括夹持件、连接件、外管件和内拉杆件,外管件套装在内拉杆件的外部,夹持件与外管件固连,连接件与内拉杆件铰接,夹持件和连接件均与晶舟或者提篮铰接;驱动机构包括第一伺服滚珠丝杆副组件和第二伺服滚珠丝杆副组件,第一伺服滚珠丝杆副组件带动晶圆离开或者没入化学品中,第一伺服滚珠丝杆副组件通过提高或者降低内拉杆件的高度从而调整晶圆的倾斜的角度,第一伺服滚珠丝杆副组件不停反复运动实现了晶圆在浸泡槽内的反复晃动,被搅动的化学品不停冲击晶圆表面,加速了晶圆表面杂质的剥离速度。
基本信息
专利标题 :
用于晶圆浸泡槽中的晃动机构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920590240.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-04-26
授权号 :
CN209708952U
授权日 :
2019-11-29
发明人 :
周志刚黄锡钦陈亮
申请人 :
昆山基侑电子科技有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市昆山市周市镇黄浦江北路333号A-1厂房
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN201920590240.X
主分类号 :
H01L21/67
IPC分类号 :
H01L21/67
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2022-04-08 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : H01L 21/67
申请日 : 20190426
授权公告日 : 20191129
终止日期 : 20210426
申请日 : 20190426
授权公告日 : 20191129
终止日期 : 20210426
2019-11-29 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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