一种多功能的曝光机基台装置
授权
摘要
本实用新型公开了曝光机技术领域的一种多功能的曝光机基台装置,包括有机座壳,所述机座壳内设置有基台框,所述基台框内设置有玻璃基台,所述玻璃基台上侧抵接设置有刷板机构,本实用新型通过设置的电动推杆、刷板机构、耳板等结构,能够实现灰尘擦的往复刮刷,传动简单可靠,且刷板机构中灰尘擦方便拆卸清洗,且灰尘擦与玻璃基台之间预紧力可以调节,保证了灰尘擦刮除灰尘的有效性,通过设置的线型分布的气嘴,能够快速风干灰尘擦清理后残留的水分,通过设置的空气净化器能够使得吹向基台的空气更加干净,保证基台的洁净度,通过在玻璃基台表面设置凸条,减小了玻璃基台与曝光基板之间的吸附力,使得曝光基板拆用更方便。
基本信息
专利标题 :
一种多功能的曝光机基台装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920597663.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-04-28
授权号 :
CN209590538U
授权日 :
2019-11-05
发明人 :
蒋燕红程言军蒋来红
申请人 :
安徽帝显电子有限公司
申请人地址 :
安徽省马鞍山市郑蒲港新区姥桥镇联合路广纳标准化厂房13#厂房
代理机构 :
合肥顺超知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
周发军
优先权 :
CN201920597663.4
主分类号 :
G03F7/20
IPC分类号 :
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2019-11-05 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载