LPCVD尾气过滤装置用反应物吸附机构及LPCVD尾气过...
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摘要
本实用新型公开了一种LPCVD尾气过滤装置用反应物吸附机构及LPCVD尾气过滤装置，包括：连杆，连杆沿着尾气流通管的轴线方向设置；若干个鳍片，若干个鳍片沿着连杆的轴线方向间隔地套设在连杆上；鳍片包括与连杆套接固定的适于随着连杆旋转的基部，以及与基部一体弯折成型的位于基部至少一对对称的边沿上的翻折部；且分别位于基部至少一对对称的边沿上的翻折部相对于基部的翻折方向相反；若干个鳍片的基部与连杆均呈斜交关系。
基本信息
专利标题 ：
LPCVD尾气过滤装置用反应物吸附机构及LPCVD尾气过滤装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920600897.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-04-28
授权号 ：
CN210171152U
授权日 ：
2020-03-24
发明人 ：
周晰郭锐贾峻峰
申请人 ：
常州银河世纪微电子股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省常州市新北区长江北路19号
代理机构 ：
常州市科谊专利代理事务所
代理人 ：
言倩玉
优先权 ：
CN201920600897.X
主分类号 ：
B01D53/06
IPC分类号 ：
B01D53/06
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D53/00
气体或蒸气的分离；从气体中回收挥发性溶剂的蒸气；废气例如发动机废气、烟气、烟雾、烟道气或气溶胶的化学或生物净化
B01D53/02
通过吸附作用，例如，制备气相色谱法
B01D53/06
用运动的吸附剂
法律状态
2020-03-24 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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