一种双电容式温湿度传感器
授权
摘要
本实用新型公开了一种双电容式温湿度传感器，包括衬底，衬底上依次设置有绝缘层和第一钝化层，第一钝化层上设置有多晶硅电极，多晶硅电极上方设置有叉指负电极和叉指正电极，叉指正电极表面覆有一层湿度敏感介质；叉指负电极和叉指正电极形成叉指结构，叉指负电极和叉指正电极之间有第一空气层，构成水平电容；叉指正电极与其下方的第二多晶硅电极直接连接，叉指负电极与其下方的第一多晶硅电极之间设置有第二空气层，且第一多晶硅电极上覆有第二钝化层，叉指负电极与第一多晶硅电极构成垂直电容。本实用新型提供的双电容式温湿度传感器，具有温漂低，响应快，面积相对较小，集成化的优点。
基本信息
专利标题 ：
一种双电容式温湿度传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920601594.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-04-29
授权号 ：
CN209894749U
授权日 ：
2020-01-03
发明人 ：
李卫刘启凡陈婉翟任青颖
申请人 ：
南京邮电大学
申请人地址 ：
江苏省南京市鼓楼区新模范马路66号
代理机构 ：
南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙)
代理人 ：
陈国强
优先权 ：
CN201920601594.X
主分类号 ：
G01N27/22
IPC分类号 ：
G01N27/22 G01K7/34 B81B7/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N27/00
用电、电化学或磁的方法测试或分析材料
G01N27/02
通过测试阻抗
G01N27/22
通过测试电容量
法律状态
2020-01-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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