推片装置
授权
摘要
该实用新型涉及一种推片装置具有锁定单元，对推片单元起到锁定作用。在晶圆盒未放置到凸块时，推片单元被锁定单元的限位件锁定，无法移动以推动晶圆盒内放置的晶圆，不会造成碎片。进一步的，锁定单元设置有两个凸块，只有当两个晶圆盒同时放置到对应的位置，与两个凸块相接触时，推片单元才可以完全脱离锁定单元对它的锁定，顺利的将一个晶圆盒内放置的晶圆推出至另一个晶圆盒，从而防止在将晶圆从一个晶圆盒转移到另一个晶圆盒内时发生晶圆的破损，提高晶圆加工的良率。
基本信息
专利标题 ：
推片装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920605163.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-04-29
授权号 ：
CN209785900U
授权日 ：
2019-12-13
发明人 ：
沈明曹佳慧
申请人 ：
上海新傲科技股份有限公司
申请人地址 ：
上海市嘉定区普惠路200号
代理机构 ：
上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
孙佳胤
优先权 ：
CN201920605163.0
主分类号 ：
H01L21/677
IPC分类号 ：
H01L21/677
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的，例如在不同的工作站之间
法律状态
2019-12-13 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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