一种卧式扩散炉恒温区温度检测装置
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要

本实用新型涉及一种卧式扩散炉恒温区温度检测装置,属于芯片制造技术领域。包括工作台、固定架、输送机构、profile热电偶和温度表,所述固定架固定于工作台上,所述输送机构固定于固定架上,所述profile热电偶设于输送机构上,输送机构将profile热电偶输送至扩散炉内,所述固定架上固定有支座,所述温度表设于支座上,所述温度表与profile热电偶电性连接,所述工作台底部固定设有万向轮。本申请不仅能够自动检测扩散炉恒温区温度,提高了检测的准确性和效率,保证扩散炉恒温区温度分布均匀,提高产品的稳定性。

基本信息
专利标题 :
一种卧式扩散炉恒温区温度检测装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920606155.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-04-29
授权号 :
CN209820640U
授权日 :
2019-12-20
发明人 :
陈建标丁飞贾云波吕帮贵李建立
申请人 :
江阴新顺微电子有限公司
申请人地址 :
江苏省无锡市江阴市高新区长山大道78号
代理机构 :
北京中济纬天专利代理有限公司
代理人 :
赵海波
优先权 :
CN201920606155.8
主分类号 :
G01K1/14
IPC分类号 :
G01K1/14  G01K7/02  G05B19/05  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01K
温度测量;热量测量;未列入其他类目的热敏元件
G01K1/14
支撑;固定装置;在特殊位置安装温度计的布置
法律状态
2021-02-09 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : G01K 1/14
变更事项 : 专利权人
变更前 : 江阴新顺微电子有限公司
变更后 : 江苏新顺微电子股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 214400 江苏省无锡市江阴市高新区长山大道78号
变更后 : 214400 江苏省无锡市江阴市高新区长山大道78号
2019-12-20 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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