一种光罩盒锁定/解锁装置及相应的光刻机
授权
摘要
本实用新型涉及光刻机制造领域，提供了一种光罩盒锁定/解锁装置。包括一设置于承载台上的导向结构，所述导向结构围护于所述光罩盒四周，并限定所述光罩盒只能在垂直于所述承载台的方向上运动，直至所述光罩盒与所述承载台上的解锁栓脱离。本实用新型通过设置一导向结构，迫使光罩盒在离开承载台的过程中，必须先经过一垂直上升的过程，从而消除了因操作不当而导致的误解锁动作。
基本信息
专利标题 ：
一种光罩盒锁定/解锁装置及相应的光刻机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920613386.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-04-29
授权号 ：
CN210105521U
授权日 ：
2020-02-21
发明人 ：
王猛
申请人 ：
上海华力微电子有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区良腾路6号
代理机构 ：
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
屈蘅
优先权 ：
CN201920613386.1
主分类号 ：
E05B65/00
IPC分类号 ：
E05B65/00 E05B15/00 G03F7/20
相关图片
IPC结构图谱
E
E部——固定建筑物
E05
锁；钥匙；门窗零件；保险箱
E05B
锁；其附件；手铐
E05B65/00
特殊用途的锁
法律状态
2020-02-21 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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