本实用新型公开了一种半导体元器件制造车间用废气净化处理装置，包括进气口，进气口上端与连接管下端固定连接，连接管上端与旋风分离器进气处固定连接，旋风分离器出气处与通管固定连接，通管另一端固定连接安装座顶端，安装座上安装有除尘装置，除尘装置包括固定座，固定座外壁与安装座内壁固定连接，固定座内壁有多组通孔，固定座外壁固定连接水管一端，水管上安装有水泵，对废气进行深度过滤，提高了废气净化的工作质量，进而能够有效的减少污染，提高了设备的使用率，使得能够对废气进行多项净化处理，提高了废气净化的质量，避免对空气造成污染，进而保证了人体不受废气侵害和工厂正常生产。