本实用新型提供了一种混压工件微动吸盘装置，包括：吸盘主体，吸盘主体的顶部中心设置有多个呈环形分布的负压腔，负压腔的外侧设置有多个电容传感器，电容传感器的外侧设置有多个呈环形分布的正压腔，吸盘主体的侧端面上设置有正压级数调节螺孔，正压级数调节螺孔与多个正压腔分别连通，正压可调供气级数螺栓插放在正压级数调节螺孔内，吸盘主体的侧端面上还设置有负压级数调节螺孔，负压级数调节螺孔与多个负压腔分别连通，负压可调供气级数螺栓插放在负压级数调节螺孔内。本混压工件微动吸盘装置设计巧妙，可以在不影响对工件吸附状态的前提下，实现对吸附工件进行微米量级的主动微动调节。