一种基于混压比例调节的直线台装置
专利权的终止
摘要
本实用新型提供了一种基于混压比例调节的直线台装置，包括：基座；安装在基座顶部且沿基座横向分布的直线驱动模组；固定在直线驱动模组上的运动台；设置在运动台上的微动平台线轨；放置在微动平台线轨上的微动平台；对称设置在微动平台前后两侧的正压模块和负压模块，所述正压模块靠近微动平台一侧设置有正压腔，所述负压模块靠近微动平台一侧设置有负压腔，正压模块上设置有与正压腔连通的正压供气管，负压模块上设置有与负压腔连通的负压供气管。本基于混压比例调节的直线台装置，控制简单，定位精度高，可以进行微纳米量级的滑动。
基本信息
专利标题 ：
一种基于混压比例调节的直线台装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920635484.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-05-06
授权号 ：
CN209981192U
授权日 ：
2020-01-21
发明人 ：
詹林江
申请人 ：
广州纽广教育咨询有限公司
申请人地址 ：
广东省广州市番禺区南村镇万惠一路96号1727房
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201920635484.5
主分类号 ：
H01L21/68
IPC分类号 ：
H01L21/68
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/68
用于定位、定向或对准的
法律状态
2022-04-15 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : H01L 21/68
申请日 : 20190506
授权公告日 : 20200121
终止日期 : 20210506
申请日 : 20190506
授权公告日 : 20200121
终止日期 : 20210506
2020-01-21 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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