一种硅片倒角工艺中冷却液喷嘴调整装置
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要

本实用新型提供了一种硅片倒角工艺中冷却液喷嘴调整装置,包括安装托盘、安装支架和喷嘴,安装托盘包括连接杆和两个托盘片,托盘片之间还预留供吸盘通过的安装间隙,安装托盘上预留有滑动轨道,滑动轨道设置于托盘片上,吸盘下方机体上预留供螺栓Ⅰ连接的螺纹孔Ⅰ,安装托盘还连有安装支架;安装支架包括第一调整板、连接板和第二调整板,连接板上还预留供喷嘴通过的安装口,第一调整板和第二调整板还分别设置于连接板的两侧,第一连接板和第二连接板上均预留调整通孔,第一连接板通过螺栓Ⅱ连接于安装托盘,第二连接板还连接有喷嘴。本实用新型能够保证倒角机在更换加工硅片尺寸后磨削时冷却效果,避免表面烧伤和碎片。

基本信息
专利标题 :
一种硅片倒角工艺中冷却液喷嘴调整装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920643502.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-05-07
授权号 :
CN210024733U
授权日 :
2020-02-07
发明人 :
王海君董开纪李鲁乔光辉
申请人 :
麦斯克电子材料有限公司
申请人地址 :
河南省洛阳市洛阳高新技术产业开发区滨河北路99号
代理机构 :
洛阳公信知识产权事务所(普通合伙)
代理人 :
王学鹏
优先权 :
CN201920643502.4
主分类号 :
B24B9/06
IPC分类号 :
B24B9/06  B24B37/02  B24B41/06  B24B55/02  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B24
磨削;抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺(用电蚀入B23H;磨料或有关喷射入B24C;电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00;磨具磨损表面的修理或调节;磨削,抛光剂或研磨剂的进给
B24B9/00
适用于磨削工件边缘或斜面或去毛刺的机床或装置;其附件
B24B9/02
以被磨制品材料性质为特征专门设计的
B24B9/06
非金属无机材料的,如石头,陶瓷制品,瓷器
法律状态
2020-11-17 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : B24B 9/06
变更事项 : 专利权人
变更前 : 麦斯克电子材料有限公司
变更后 : 麦斯克电子材料股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 471000 河南省洛阳市洛阳高新技术产业开发区滨河北路99号
变更后 : 471000 河南省洛阳市高新技术产业开发区滨河北路99号
2020-02-07 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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