本实用新型公开了一种半导体化学器皿干燥装置，包括箱体，所述箱体的外侧设置有电源插孔，所述箱体的中部通过轴承座转动连接有支撑轴，所述箱体的的内壁设置有侧支架，所述箱体的底侧铺设有电加热丝，所述箱体的上端通过内螺纹旋接有盖帽，所述侧支架的侧端嵌接有风扇，所述支撑轴的外侧固定连接有托架。该实用新型装置通过设置电加热丝配合风扇能够高效的、快速的干燥制备器皿，使得清洗的器皿能够继续投入使用，通过设置紫外线灯珠能够一定程度的杀灭和抑制细菌，提高半导体化学材质的制备效果，通过设置活动环配合固定环和固定栓能够根据不同的制备器皿实现高效的调节，避免尺寸不合适导致干燥过程中器皿损坏。