一种扫描电子显微镜载物台和扫描电子显微镜

授权

摘要

本实用新型提供了一种扫描电子显微镜载物台，其包括：平台，所述平台中央区域设置有调节孔，在所述调节孔的周围设置有多个载物孔，所述载物孔和所述调节孔之间通过通孔连通，所述通孔内设置有推杆，所述推杆通向所述载物孔的一端设置有压板，所述压板为平板状；压块，所述压块设置于所述调节孔中，所述压块的外周面为锥面，该锥面约趋向于下侧约趋向中央收缩，使得所述压块能够压抵所述推杆，使推杆具有由调节孔向载物孔运动的趋势。通过采用上述技术方案本实用新型所述的一种扫描电子显微镜载物台可以通过压块带动压板夹紧样品来一次装载多个样品，提高装载效率。

基本信息

专利标题：

一种扫描电子显微镜载物台和扫描电子显微镜

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920699593.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-05-16

授权号：

CN209947791U

授权日：

2020-01-14

发明人：

孙磊古晓晨张守庆燕虎高原孙永泽孙立梅刘健

申请人：

天津易赛思科技有限公司

申请人地址：

天津市滨海新区滨海-中关村科技园荣晟广场4号楼702-18

代理机构：

北京沁优知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

张亚娟

优先权：

CN201920699593.3

主分类号：

H01J37/20

IPC分类号：

H01J37/20 H01J37/28