本实用新型公开了一种高精度机械设备固定装置，具体涉及固定装置领域，包括固定座，所述固定座内部设有支撑台，所述支撑台顶端设有第一固定机构，所述固定座上贯穿设有两个第二固定机构，所述支撑台安装在两个第二固定机构之间，所述固定座内部设有两个第一减震机构，两个所述第一减震机构内部均安装有第二减震机构，两个所述第二减震机构之间设有第三减震机构，所述第三减震机构贯穿设在支撑台上。本实用新型有效减少支撑台以及支撑台上的设备受到的损伤，有效提高安全性，通过第二固定机构将支撑台以及支撑台上的设备固定，有效防止工作时设备晃动而影响工作精度。