一种用于晶圆承载盒的支撑架

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摘要

本实用新型公开了一种用于晶圆承载盒的支撑架，包括上托架、伸缩套管和支撑套管，所述上托架包括井字架，所述井字架由矩形框及其四个拐角外壁均焊接两个垂直外壁的圆杆构成，所述井字架的内部四个拐角处的底部焊接有托杆，所述井字架的矩形框四个拐角的底面均焊接有竖直设立的支撑螺杆。本实用新型中，利用支撑套管螺母与支撑螺杆旋合的方式，对支撑架的高度进行调节，通过支撑套管内通过第二复位弹簧弹性连接的带有滚球的活动块能够在支撑架未载重或者载重较轻的情况下，利用滚球改变支撑架的位置，而通过紧固调节螺丝固定伸缩套管位置实现对支撑架的位置固定，能够实现晶圆承载盒位置上、下调动以及对支撑架的固定。

基本信息

专利标题：

一种用于晶圆承载盒的支撑架

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920713031.X

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-05-17

授权号：

CN209561364U

授权日：

2019-10-29

发明人：

崔正宏罗文滨

申请人：

安徽宏实自动化装备有限公司

申请人地址：

安徽省合肥市包河区延安路2号宏实集团工业园区

代理机构：

北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

胡剑辉

优先权：

CN201920713031.X

主分类号：

H01L21/677

IPC分类号：

H01L21/677