本实用新型涉及机械技术领域，尤其为一种半导体元件清洗设备防撞装置，包括清洗设备主体，清洗设备主体的底部边缘处靠接有防护装置，防护装置由一对呈对称分布的防护机构组成，两个防护机构之间通过滑杆滑动连接，每个防护机构上均安装有护角板。该半导体元件清洗设备防撞装置，通过设置的防护装置，使防护装置对驶向清洗设备主体的推车等移动装置进行阻挡，防止推车等移动装置对清洗设备主体产生撞击，通过设置的护角板，使护角板对清洗设备主体的前端拐角处进行防护，通过使滑动套杆能相对前挡板进行滑动，使防护装置的前端与清洗设备主体之间的距离可进行调节。