一种玻璃晶圆毛坯的加工装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种玻璃晶圆毛坯的加工装置，包括第一支撑板，第一支撑板的顶端一侧固定有垂直设置的第二支撑板，第二支撑板的顶端侧壁固定有垂直设置的第三支撑板，第三支撑板的底端侧壁转动连接有第一转动柱，第一转动柱的底端侧壁开设有第一凹槽，第一凹槽的两侧侧壁滑动连接有滑块，滑块之间固定有滑板，滑板的一侧侧壁沿其长度方向开设有齿条，第一凹槽的一侧侧壁转动连接有转轴，转轴位于滑板的一侧，转轴的一端延伸至第一凹槽外部固定有转板，且转板与转轴之间垂直设置。本实用新型能够对不同大小和厚度的晶圆进行固定，提高了便捷性，而且能够对不同大小的晶圆进行自动抛光处理，提高了实用性。
基本信息
专利标题 ：
一种玻璃晶圆毛坯的加工装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920726923.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-05-21
授权号 ：
CN209868266U
授权日 ：
2019-12-31
发明人 ：
徐峥
申请人 ：
南阳凯鑫光电股份有限公司
申请人地址 ：
河南省南阳市信臣西路569号
代理机构 ：
北京劲创知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
王志敏
优先权 ：
CN201920726923.3
主分类号 ：
B24B29/02
IPC分类号 ：
B24B29/02 B24B41/06
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B29/00
有或没有使用固体或液体抛光剂并利用柔软材料或挠性材料制作的工具进行工件表面抛光的机床或装置
B24B29/02
适用于特殊工件的
法律状态
2019-12-31 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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