一种LED外延片制备工艺废气回收装置
授权
摘要
本实用新型涉及废气回收技术领域，具体涉及一种LED外延片制备工艺废气回收装置。回收装置具体包括：用于将废气收集的尾气吸收罐，进行杂质过滤获得第一过滤尾气的粉尘过滤器；用于将第一过滤尾气进行反应的设备包括依次连接的压缩机、加热器、回热器和反应器，冷却器和去除MO源获得第二过滤尾气过滤器；用于将第二过滤尾气进行处理的设备包括依次连接的换热器、一级冷凝气液分离器、冰机、二级冷凝气液分离器和氨水精馏装置；用于将除氨尾气进行水喷淋的喷淋塔和氢气PSA系统。该回收装置处理过程简单，且对废气中氨气、氢气以及三甲基镓(TMGa)进行了回收利用，避免了能源的浪费，减少了废气的排放，具有良好的环保性和经济性。
基本信息
专利标题 ：
一种LED外延片制备工艺废气回收装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920729246.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-05-21
授权号 ：
CN210065160U
授权日 ：
2020-02-14
发明人 ：
王耀亮王冶秋
申请人 ：
上海跃绅能源科技有限公司
申请人地址 ：
上海市闵行区新骏环路189号漕河泾开发区创新产业园A栋407室
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201920729246.0
主分类号 ：
C01B3/56
IPC分类号 ：
C01B3/56 C01B21/06 C01C1/12 F25J3/02
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C01
无机化学
C01B
非金属元素；其化合物
C01B3/00
氢；含氢混合气；从含氢混合气中分离氢；氢的净化
C01B3/50
氢或含氢气体从混合气体中的分离，如净化
C01B3/56
用固体接触法；所用固体的再生
法律状态
2020-02-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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