一种新型高压腔进气出气装置
授权
摘要
本实用新型提供一种新型高压腔进气出气装置，气源进气管道安装在气路安装盘上，所述气源进气管道一端连接气源，另一端连接高压腔体，气源进气管道上连接过滤器，过滤器通过气源进气管道连接进气调压阀，气源进气管道经减压器减压后经三通接头一分为二，一路接进气隔膜阀，一路接进气手动阀后合再接三通接头二为一，连接进气调节针阀，气源进气管道经进气调节针阀后连接腔体进出气管道，腔体进出气管道另一端直接连接高压腔体，与现有技术相比，本实用新型具有如下的有益效果：使高压腔体内的气氛更加稳定，安装可靠，大大提升了材料生长的性能指标和一致性，降低了人为操作的失误率。
基本信息
专利标题 ：
一种新型高压腔进气出气装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920761818.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-05-24
授权号 ：
CN210065982U
授权日 ：
2020-02-14
发明人 ：
刘洋
申请人 ：
青岛精诚华旗微电子设备有限公司
申请人地址 ：
山东省青岛市城阳区流亭街道双元路西
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201920761818.3
主分类号 ：
C30B29/40
IPC分类号 ：
C30B29/40 C30B1/12
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B29/00
以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料
C30B29/10
无机化合物或组合物
C30B29/40
AⅢBv化合物
法律状态
2020-02-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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