本实用新型涉及微粉加工技术领域，尤其为一种用于碳化硅微粉的回收装置。本实用新型中，通过在设备室内部设置抽气泵，该抽气泵通过抽气管连接回收舱顶部，使用时，先将杂质出料口和微粉出料口的开关阀关闭，后通过控制继电器通路同时开启抽气泵和振动器，抽气泵将回收舱内的空气抽离，使回收舱内压强增大，使回收管具备吸力，将回收管对准散落在设备及地面的碳化硅微粉即可将其吸入回收舱内，碳化硅微粉进入回收舱后往下掉落，经过滤网时，碳化硅微粉从滤网掉落到回收舱底部，携带的杂质被滤网拦截，振动器可加速滤网的过滤速度，通过上述操作即可完成对散落碳化硅微粉的回收和过滤，适宜推广使用。