高纯离子水水质监测系统

授权

摘要

本实用新型公开了一种高纯离子水水质监测系统，包括TOC检测装置、电导率检测装置、Particle检测装置，它们的进水口通过管道连接有稳压阀的出水管道，稳压阀的进水管道上分别连接有离子水进水装置、循环水进水装置和样品水进水装置的出水口，TOC检测装置、电导率检测装置以及Particle检测装置的出水口通过管道连接有厂务水系统或工作水系统；离子水进水装置和循环水进水装置的出水口还连接有喷淋装置，喷淋装置下方的排水管连接有回收水池，回收水池的出水口与循环水进水装置连接。本实用新型的水质监测系统可以对水中的有机碳、电导率和微粒数量进行测量，有效的防止半导体或液晶等产品在生产时因水质导致产品不良的现象。

基本信息

专利标题：

高纯离子水水质监测系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920775802.8

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-05-28

授权号：

CN210604603U

授权日：

2020-05-22

发明人：

季宏兵

申请人：

上海微晁自动化科技有限公司

申请人地址：

上海市浦东新区新城镇东大公路5388弄5号118室-1

代理机构：

代理人：

优先权：

CN201920775802.8

主分类号：

G01N33/18

IPC分类号：

G01N33/18 G01N35/00