多功能集成式传感器
授权
摘要
本实用新型提供一种多功能集成式传感器，包括基板、气压传感器和惯性传感器；基板包括第一铜层、第二铜层及位于第一铜层和第二铜层之间的介质层；气压传感器的MEMS芯片设置在第一铜层上，并与第一铜层电气连接；气压传感器的ASIC芯片、惯性传感器的MEMS芯片和ASIC芯片均埋设在介质层中。利用上述实用新型，能够在减小产品整体尺寸的同时，提高产品的集成化。
基本信息
专利标题 ：
多功能集成式传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920781277.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-05-27
授权号 ：
CN210123288U
授权日 ：
2020-03-03
发明人 ：
邱文瑞王德信潘新超杨军伟付亚林
申请人 ：
青岛歌尔智能传感器有限公司
申请人地址 ：
山东省青岛市崂山区松岭路396号109室
代理机构 ：
北京鸿元知识产权代理有限公司
代理人 ：
王迎
优先权 ：
CN201920781277.0
主分类号 ：
G01D21/02
IPC分类号 ：
G01D21/02 G01D11/26 G01D3/036
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01D
非专用于特定变量的测量；不包含在其他单独小类中的测量两个或多个变量的装置；计费设备；非专用于特定变量的传输或转换装置；未列入其他类目的测量或测试
G01D21/00
未列入其他类目的测量或测试
G01D21/02
用不包括在其他单个小类中的装置来测量两个或更多个变量
法律状态
2020-03-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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