真空镀膜机用的罗茨泵
授权
摘要
本实用新型涉及一种真空镀膜机用的罗茨泵，包括泵体，所述泵体上转动连接有第一转轴，所述第一转轴上固定有转子，所述泵体上设置有支撑架，所述支撑架上设置有电机，所述电机的转轴与第一转轴之间设置有联动两者同向转动的磁粉离合器，所述支撑架上设置有调节对磁粉离合器的激磁电流以调节第一转轴转速的控制器，所述控制器与磁粉离合器电连接，所述泵体上内嵌有检测泵体内部温度的温度检测模块，所述温度检测模块与控制器电连接。本实用新型具有可与机械泵同时启动对真空镀膜机进行抽气，从而缩短对真空镀膜机抽气时间的效果。
基本信息
专利标题 ：
真空镀膜机用的罗茨泵
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920799866.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-05-30
授权号 ：
CN209943091U
授权日 ：
2020-01-14
发明人 ：
张德军
申请人 ：
深圳市创基真空科技有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市宝安区沙井街道沙头工业区民福路8号之2栋三层;在松岗街道潭头第三工业区C7栋地址设有经营场所从事生产经营活动
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201920799866.1
主分类号 ：
F04C18/12
IPC分类号 ：
F04C18/12 F04C29/02 F04C29/00
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F04
液体变容式机械；液体泵或弹性流体泵
F04C
旋转活塞或摆动活塞的液体变容式机械
F04C
旋转活塞或摆动活塞的液体变容式机械
F04C18/00
专门适用于弹性流体的旋转活塞式泵
F04C18/08
相互啮合式的，即具有与齿轮传动相似的配合元件的啮合
F04C18/12
不同于内轴式的
法律状态
2020-01-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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