真空镀膜机的冷却系统
授权
摘要
本实用新型涉及一种真空镀膜机的冷却系统，包括真空镀膜机腔体、热交换管道组、出水温度检测装置、进水流量控制装置、控制器和出水管，热交换管道组设置有进水口和出水口，出水管与出水口相连通，进水流量控制装置与进水口相连通，出水温度检测装置用于检测从出水口中流出水的温度，进水流量控制装置用于控制进入进水口处的进水流量大小，出水温度检测装置将检测到的实时出水温度值传递给控制器，控制器内预设置有基准出水温度值以与接收到的实时出水温度值进行比较，并根据比较结果去控制进水流量控制装置工作，以增大或者缩小进水流量。本实用新型具有能够根据不同的降温需要及时将真空镀膜机腔体的内部温度迅速降至所需温度的效果。
基本信息
专利标题 ：
真空镀膜机的冷却系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920805492.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-05-30
授权号 ：
CN210065894U
授权日 ：
2020-02-14
发明人 ：
张德军
申请人 ：
深圳市创基真空科技有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市宝安区沙井街道沙头工业区民福路8号之2栋三层;在松岗街道潭头第三工业区C7栋地址设有经营场所从事生产经营活动
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201920805492.X
主分类号 ：
C23C14/22
IPC分类号 ：
C23C14/22 C23C14/54 C23C16/44 C23C16/52
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
法律状态
2020-02-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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