一种多级给油的MEMS电子烟雾化芯片
授权
摘要
本实用新型提供一种多级给油的MEMS电子烟雾化芯片，在第一半导体衬底的底壁沉积支撑膜，在第一半导体衬底的上表面构造出多个第一微腔体，支撑膜的下表面设置有引线焊盘；加热组件包括与第一微腔体数量相同的加热器，每个加热器竖向对应一个第一微腔体固定在支撑膜的下表面；盖板覆盖在第一半导体衬底上表面，对应第一微腔体位置为多孔结构；每个第一微腔体的腔体壁上均开设有至少一个进油孔；给油装置，多个输出端分别与多个进油孔连通，输入端与油箱连通；控制开关，给油装置经过控制开关与电源连接。本实用新型雾化芯片上有多个加热腔，结合外部相应数量的给油装置，根据吸烟者的喜好和需求选择给不同数量的加热腔供油，以达到不同强度的雾化效果。
基本信息
专利标题 ：
一种多级给油的MEMS电子烟雾化芯片
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920818383.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-05-31
授权号 ：
CN210353183U
授权日 ：
2020-04-21
发明人 ：
许磊谢东成汪进彭书峰
申请人 ：
合肥微纳传感技术有限公司
申请人地址 ：
安徽省合肥市高新区创新大道2800号创新产业园二期F3楼16层1608-1610室
代理机构 ：
合肥市浩智运专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
张景云
优先权 ：
CN201920818383.1
主分类号 ：
A24F40/50
IPC分类号 ：
A24F40/50 A24F40/48 A24F40/46
IPC结构图谱
A
A部——人类生活必需
A24
烟草；雪茄烟；纸烟；模拟吸烟装置；吸烟者用品
A24F
吸烟者用品；火柴盒；模拟的吸烟装置
A24F40/50
控制或监视
法律状态
2020-04-21 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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