一种小型可移动式等离子体表面改性设备
授权
摘要
本实用新型公开了一种小型可移动式等离子体表面改性设备，所述设备包括壳体，所述壳体内设置有真空反应装置、气瓶、偏压电源、控制器和真空泵等，所述真空反应装置内顶部设置有辅助电极，所述真空反应装置内底部中间位置固定设置有基片台，所述基片台上设置有电极；通过在电极间加载较高的偏压，从而在极板间产生辉光放电，反应气体进入反应区，形成辉光等离子体，发生等离子体渗氧、渗氮或者薄膜沉积，完成材料表面改性；本实用新型所述等离子体表面改性设备可以在一个设备上实现离子渗氧或渗氮以及薄膜沉积过程，设备连续性较高，使用方便，生产效率高，而且所述设备结构紧凑、体积小，可以自由移动。
基本信息
专利标题 ：
一种小型可移动式等离子体表面改性设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920819678.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-05-31
授权号 ：
CN210065891U
授权日 ：
2020-02-14
发明人 ：
蔺增李绍杰孙飞张亮霞王磊刘兴龙
申请人 ：
泰安东大新材表面技术有限公司;东北大学
申请人地址 ：
山东省泰安市高新区配天门大街1608号
代理机构 ：
济南圣达知识产权代理有限公司
代理人 ：
吕薇
优先权 ：
CN201920819678.0
主分类号 ：
C23C8/36
IPC分类号 ：
C23C8/36 C23C16/50
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C8/00
金属材料表面中仅渗入非金属元素的固渗；材料表面与一种活性气体反应、覆层中留存表面材料反应产物的金属材料表面化学处理法，例如转化层、金属的钝化
C23C8/06
使用气体的
C23C8/36
使用电离气体的，例如离子氮化
法律状态
2020-02-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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