研磨液过滤装置
授权
摘要
本实用新型提供了一种研磨液过滤装置，所述装置包括：研磨液过滤器，用于过滤研磨液；设置在所述研磨液过滤器外壁的超声波发生器，用于发射超声波，以去除附着在所述研磨液过滤器内壁的气泡。本实用新型提供的研磨液过滤装置可以确保CMP工艺的稳定性。
基本信息
专利标题 ：
研磨液过滤装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920843199.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-06-05
授权号 ：
CN210205982U
授权日 ：
2020-03-31
发明人 ：
田得暄辛君吴龙江林宗贤
申请人 ：
德淮半导体有限公司
申请人地址 ：
江苏省淮安市淮阴区长江东路599号
代理机构 ：
上海思捷知识产权代理有限公司
代理人 ：
王宏婧
优先权 ：
CN201920843199.2
主分类号 ：
B01D19/00
IPC分类号 ：
B01D19/00
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D19/00
液体的脱气
法律状态
2020-03-31 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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