气体快速加热装置

专利申请权、专利权的转移

摘要

本实用新型是关于一种气体快速加热装置，包括：密闭的腔体；管路设置在所述腔体内，且所述管路包括第一支路和第二支路；所述第二支路远离所述第一支路设置，所述第一支路的进气端反应源连通，所述第一支路的出气端与所述腔体外的工艺腔室连通；所述第二支路的进气端封闭，所述第二支路的出气端与所述第一支路的出气端连通；加热棒，所述加热棒设置在所述腔体内，且所述加热棒设置在所述第一支路与所述第二支路围成空间内；保温层，设置在所述腔体内壁上，且所述保温层用于对所述第一支路和所述第二支路的气体保温。本实用新型提供的气体快速加热装置，避免了反应物在从反应源到工艺室的管路中冷凝。

基本信息

专利标题：

气体快速加热装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920860476.0

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-06-06

授权号：

CN210718073U

授权日：

2020-06-09

发明人：

张军

申请人：

君泰创新(北京)科技有限公司

申请人地址：

北京市大兴区亦庄经济技术开发区荣华南路9号院2号楼10层

代理机构：

北京华夏泰和知识产权代理有限公司

代理人：

孟德栋

优先权：

CN201920860476.0

主分类号：

F24H3/08

IPC分类号：

F24H3/08 F24H9/18 F24H9/20