本实用新型公开了一种立式稀土氧化物干法氟化设备，包括处理炉、底座、管道、水环真空组、出水槽和垫台，处理炉的底部设有底座，处理炉的顶端连接有管道，管道远离处理炉的一端连接在水环真空组上，水环真空组的一侧开设有出水槽。本实用新型立式稀土氧化物干法氟化设备，气体通过吸气口进入到内管中，通过吸气泵将内管内的气体吸入至水环管中，气体在水环管中循环，使气体溶解于水中，通过出水管将水排出，橡皮口可以限制水流的速度，当底板本体上的残渣过多时，可以将对接柱从对接槽中抽出，使底板本体与筒体分离，对底板本体进行清理，该设备利于废气排除，缩短氟化时间，减少能耗，不产生环境污染。