本实用新型高效清洗改质设备包括机架和装设在机架上的清洗腔室及控制模块，所述清洗腔室内设有若干紫外光光源模块和用于紫外光光源模块热量散发的散热模块，所述机架上设置有传送模块和臭氧处理模块，所述传送模块通过所述清洗腔室，所述臭氧处理模块与所述清洗腔室连通，所述若干紫外光光源模块、传送模块均与控制模块电连接；本实用新型通过臭氧处理模块及时将清洗腔室内的臭氧经过臭氧催化氧化，降低了清洗腔室内的臭氧浓度，并通过传感器检测清洗腔室内的臭氧浓度，控制模块控制控制气体供给装置的供给量，从而实现清洗腔室内的臭氧浓度，保证清洗改质的效果。